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光學(xué)膜厚儀基于干涉原理的精密測量技術(shù)解析
2025-07-15

光學(xué)膜厚儀作為現(xiàn)代材料科學(xué)中至關(guān)重要的精密測量工具,其核心原理基于光的干涉現(xiàn)象與薄膜光學(xué)特性。當(dāng)一束光波照射至透明或半透明薄膜表面時,部分光在膜層上表面反射,另一部分穿透膜層后在下表面反射,兩束反射光因光程差產(chǎn)生干涉現(xiàn)象。通過分析干涉圖樣的...

  • 2020-09-25

    Subnano3D干涉輪廓儀建立在移相干涉測量(PSI)、白光垂直掃描干涉測量(VSI)和單色光垂直掃描干涉測量(CSI)等技術(shù)的基礎(chǔ)上,以其納米級測量準(zhǔn)確度和重復(fù)性(穩(wěn)定性)定量地反映出被測件的表面粗糙度、表面輪廓、臺階高度、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應(yīng)用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加工、表面工程技術(shù)、材料、太陽能電池技術(shù)等領(lǐng)域。Subnano3D干涉輪廓儀產(chǎn)品優(yōu)點:1、美國硅谷研發(fā)的核心技術(shù)和系統(tǒng)軟件。2、關(guān)鍵硬件采用美國、德國、日本等。3、PI納米移...

  • 2020-09-21

    HerzTS主動隔振臺介紹:在21世紀(jì)納米技術(shù)(即先進的半導(dǎo)體代表相關(guān)的信息技術(shù),基因療法等生命科學(xué)相關(guān)技術(shù),原子或分子處理如MEMS和工程技術(shù)等新材料生產(chǎn)),振動、噪聲、電磁領(lǐng)域、熱、濕度、干擾等是測量環(huán)境的抑制因素。在納米技術(shù)中,為了獲得可靠的結(jié)果,使用充氣被動隔振臺無法隔離低頻振動,此時需要主動隔離。主動式隔振系統(tǒng)“TS系列”將作為21世紀(jì)納米技術(shù)的隔振技術(shù)基礎(chǔ)。它將有助于發(fā)展目前的技術(shù)和測量、創(chuàng)新和發(fā)展未知的技術(shù)。HerzTS主動隔振臺特點:1、在全部的6個自由度范圍...

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